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高功率磁控濺射(HiPIMS) 制備ITO柔性膜

新鉑自研HiPIMS及同步復(fù)頻Bias電源,提高鍍膜結(jié)合力!

磁控電源 HiPIMS-1500

輸出功率:40kW,脈沖電壓范圍:200~1000V,脈沖峰值電流:1500A,脈沖頻率范圍:20~1000Hz,脈沖脈寬范圍:10~300uS,直流電壓范圍:100~750V,直流電流:40A,模塊同步:光纖